為什么移動(dòng)精密平臺(tái)可廣泛應(yīng)用于精密定位技術(shù)

添加時(shí)間：2016-6-30 8:02:00 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

移動(dòng)精密平臺(tái)機(jī)構(gòu)品種很多，因工作性質(zhì)和用途不同，主要分成直線位移載物工作臺(tái)和回轉(zhuǎn)載物工作臺(tái)2類，有一維、二維或多維運(yùn)動(dòng)等，所謂的多維載物移動(dòng)精密平臺(tái)實(shí)際都是在一維運(yùn)動(dòng)的基礎(chǔ)上復(fù)合而成。
（1）機(jī)械執(zhí)行機(jī)構(gòu)，是大行程的精密定位機(jī)械工作載物臺(tái)，經(jīng)常采用滾珠絲桿/ 螺母?jìng)鲃?dòng)和滾動(dòng)導(dǎo)軌，由步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，代替了傳統(tǒng)的滑動(dòng)絲桿副和導(dǎo)軌副，獲得高精度直線位移和定位度，這類產(chǎn)品的售價(jià)都很貴，精度均在微米量級(jí)，不足于直接達(dá)到納米量級(jí)定位精度。
（2）直線電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，載物工作臺(tái)直接由直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，兩者連為一體，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，避免了機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)，這在哈工大的精密定位機(jī)構(gòu)的研制工作中已經(jīng)獲得應(yīng)用。
（3）壓電陶瓷馬達(dá)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，是新型的精密載物工作臺(tái)，臺(tái)面的側(cè)面裝有鋁整流子，由壓電陶瓷馬達(dá)將其推動(dòng)，使臺(tái)面沿著導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度往復(fù)運(yùn)動(dòng)，特點(diǎn)是：行程無限，5 nm的高分辨率，速度范圍寬1μm/s～250mm/s。
（4）柔性鉸鏈機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，柔性鉸鏈利用了彈性材料微小角變形及其自回復(fù)的特性，消除了傳動(dòng)過程中的空程和機(jī)械摩擦，能獲得超高的位移分辨率，并有很緊湊的機(jī)械結(jié)構(gòu)和很高的剛度，以及迅捷的響應(yīng)。它由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)納米量級(jí)微運(yùn)動(dòng)，移動(dòng)精密平臺(tái)目前廣泛應(yīng)用于精密定位技術(shù)。為了克服壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器伸長(zhǎng)量較小的不足，通常采用杠桿放大機(jī)構(gòu)增加移動(dòng)精密平臺(tái)的位移輸出。