精密微調(diào)平臺(tái)在精密測(cè)厚時(shí)需要注意哪些

添加時(shí)間：2016-8-1 7:09:49 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

1、精密微調(diào)平臺(tái)用單激光測(cè)厚
　　被測(cè)體放在測(cè)量精密微調(diào)平臺(tái)上，測(cè)量出傳感器到平臺(tái)表面距離，然后再測(cè)出傳感器到被測(cè)體表面間距，經(jīng)計(jì)算后測(cè)出厚度。要求被測(cè)體與測(cè)量精密微調(diào)平臺(tái)之間無(wú)氣隙，被測(cè)體無(wú)翹起。這些嚴(yán)格要求只有在離線(xiàn)情況實(shí)現(xiàn)。
2、 精密微調(diào)平臺(tái)測(cè)厚
　　在被測(cè)體上方和下方各安裝一個(gè)精密微調(diào)平臺(tái) ，被測(cè)體厚度D=C-（A+B）。其中，C是兩個(gè)傳感器之間距離，A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y(cè)體之間距離，B是下面精密微調(diào)平臺(tái)到被測(cè)體之間距離。圖中：SMR是指精密微調(diào)平臺(tái)量程起始間距，MR是指?jìng)鞲衅髁砍獭?br /> 　　在線(xiàn)厚度測(cè)量用這種方法優(yōu)點(diǎn)是可消除被測(cè)體振動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。但同時(shí)對(duì)傳感器安裝和性能有要求。
　　保證精密微調(diào)平臺(tái)測(cè)量準(zhǔn)確性的條件是：兩個(gè)傳感器發(fā)射光束必須同軸，以及兩個(gè)傳感器掃描必須同步（見(jiàn)本文附圖）。同軸是靠安裝實(shí)現(xiàn)，而同步要靠選擇有同步端 激光傳感器 。如真精密微調(diào)平臺(tái)10X系列激光位移傳感器都有同步端。精密微調(diào)平臺(tái)